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國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性

更新時間:2022-12-01  |  點擊率:1261
   國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺臺面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu),上臺面為430系列高導(dǎo)磁不銹鋼,臺面按照25mmX25mm孔距均布M6螺紋孔,方便安裝儀器,每個螺紋孔下方具有獨立的隔離杯,方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu),是把0.25毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu),增加了臺面結(jié)構(gòu)的密度,減小體積,采用*的粘合工藝,堅固耐用。臺面的底部和側(cè)板用鋼板作為主體材料,具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性。
  
  國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺的特點:
  
  1.具有非常好的隔振性能,特別是在低頻2Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率。
  
  2.采用慣性傳感器,可以檢測出六個自由度的振動,并做補償。
  
  3.采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面,厚度可選100/200/300mm。
  
  4.進(jìn)口精密主動隔振光學(xué)平臺。
  
  5.隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀,半導(dǎo)體檢測設(shè)備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。
  
  國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機構(gòu)和主動隔振器DVIA-M,每個支撐里面一般會有4個DVIA-M系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器,主要消除0.5-10Hz的外部振動,被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動的作用??梢栽诘皖l范圍(0.5-10Hz)提供非常好隔振性能,它可以應(yīng)用于很多對振動要求非常高,甚至具有挑戰(zhàn)的領(lǐng)域,比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。
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